工业冷水机在真空镀膜工艺中的作用简述

工业冷水机真空镀膜作业原理是膜体在高温下蒸腾落在工件表面结晶。因为空气对蒸腾的膜体分子会发生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以有必要在高真空下才能使结晶体细密亮光，果如真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。前期真空镀膜是依托蒸腾体散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸腾分子在电场的效果下加快炮击靶材，溅射出很多的靶材原子，呈中性的靶原蒸腾无法加工的膜体种类，如镀钛镀锆等等。

中频设备有必要加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会集合在电导有表面积，这样使电导发热所以选用中孔管做导体中间加水冷却。

（主要是圆柱靶）为什么也要用水冷却？磁控溅射靶在发射时会发生高温会使射枪变形，所以它有一个水套来冷却射枪。一起还有一个重要原因磁控溅射能够被认为是镀膜技能中的成果之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好。

从更深层次研讨电子在非均匀电磁场中的运动规律，探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁束缚的本质原因。磁控溅射能够被认为是镀膜技能中的成果之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能安稳。

工业冷水机是一种水冷却设备，能提供恒温、恒流、恒压的冷却水设备。其作业原理是先向机内水箱注入相应量的水，通过制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备，冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，达到冷却的效果。冷却水温可根据要求主动调理，长期使用可节约用水。 

冷水机能操控真空镀膜机的温度，以确保镀件的高质量。假如不配冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、操控温度的意图，因为水和水塔散热都不可避免地受到气温的影响，而且此方法操控是极不安稳的。

工业冷水机具有完全独立的制冷系统，绝不会受气温及环境的影响，水温在5℃～30℃范围内调理操控，因而能够达到高精度、操控温度的意图，冷水机设有独立的水循环系统。